Vacuum Gauges

Vacuum gauges messbereich: atmosphärisch bis 1 mbar

Neben den traditionellen Vakuummessgeräten mit mechanischen Sensoren (z.B. Bourdon, Kapselmanometer) haben sich Membranmanometer mit elektronischen Membransensoren etabliert (Piezo- und Kapazitätsmanometer). Der zu messende Druck wird durch eine Membrane von einem Referenzvakuum getrennt und mit diesem verglichen. Die Bewegung der Membran wird entweder durch ein piezoresistives System erfasst oder die Membran ist Teil eines Kondensators (kapazitives Vakuumsystem). Zur Verbesserung der chemischen Beständigkeit wird die Membran häufig aus einer Aluminiumoxidkeramik hergestellt. Die Druckmessung ist unabhängig von der Art des Gases.