真空計

真空計的量測範圍：大氣壓至 1 mbar

除了採用機械式感測器的傳統真空計（例如：布爾登管、膠囊式真空計）之外，配備電子式膜片感測器的膜片壓力計（如壓電式與電容式壓力計）也已廣泛應用。待測壓力透過隔膜與參考真空隔開，並與後者進行比較。隔膜的位移可透過壓電阻式系統進行偵測，或者隔膜本身即為電容器的一部分（電容式真空系統）。為了提高耐化學性，隔膜通常採用氧化鋁陶瓷製成。壓力測量不受氣體種類的影響。