Misuratori di vuoto

Oltre ai tradizionali vacuometri dotati di sensori meccanici (ad esempio, a Bourdon o a capsula), sono ormai ampiamente diffusi anche i manometri a membrana con sensori elettronici (manometri piezoelettrici e capacitivi). La pressione da misurare è separata da un diaframma da un vuoto di riferimento e viene confrontata con quest’ultimo. Il movimento del diaframma viene rilevato tramite un sistema piezoresistivo oppure il diaframma fa parte di un condensatore (sistema a capacità sottovuoto). Per garantire una maggiore resistenza chimica, il diaframma è spesso realizzato in ceramica di ossido di alluminio. La misurazione della pressione è indipendente dal tipo di gas.