Medidores de vacío

Además de los medidores de vacío tradicionales con sensores mecánicos (por ejemplo, los de Bourdon o los de cápsula), los manómetros de diafragma con sensores electrónicos de diafragma están muy extendidos (manómetros piezoeléctricos y de capacitancia). La presión que se va a medir está separada de un vacío de referencia por un diafragma y se compara con este último. El movimiento del diafragma se registra mediante un sistema piezorresistivo o bien el diafragma forma parte de un condensador (sistema de vacío capacitivo). Para mejorar la resistencia química, el diafragma suele estar fabricado con cerámica de óxido de aluminio. La medición de la presión es independiente del tipo de gas.