Jauges à vide

Outre les vacuomètres traditionnels équipés de capteurs mécaniques (par exemple, à tube de Bourdon ou à capsule), les manomètres à membrane dotés de capteurs électroniques sont désormais largement répandus (capteurs piézoélectriques et capacitifs). La pression à mesurer est isolée d'un vide de référence par un diaphragme et comparée à ce dernier. Le mouvement de la membrane est détecté soit par un système piézorésistif, soit par le fait que la membrane fait partie d'un condensateur (système à capacité sous vide). Pour une meilleure résistance aux produits chimiques, la membrane est souvent fabriquée en céramique d'oxyde d'aluminium. La mesure de la pression est indépendante du type de gaz.