如何檢測真空洩漏(逐步指南)
洩漏檢測是透過觀察系統在建立真空後的運作狀況來進行的。在 Welch 泵的協助下,該腔室被抽空並與外界隔離。若真空性能隨時間推移而下降,則表示存在洩漏或內部脫氣現象。
執行視覺與機械檢查
首先檢查軟管、夾具、接頭、密封件和法蘭。檢查是否有裂紋、脆化、變形或夾緊接觸不良。 即使是微小的機械瑕疵,也可能導致洩漏。
使用「抽空測試」或「壓力上升測試」
- 壓力上升測試: 將測試腔抽至低壓狀態,進行隔離,並監測壓力隨時間的上升情況。壓力曲線呈上升趨勢,表示可能發生洩漏或內部脫氣。
- 抽空比較: 將您的實際抽空曲線與預期曲線進行比較。若表現不佳,通常表示存在洩漏或流量受阻。
使用真空洩漏檢測儀進行確認
真空洩漏檢測儀(通常為氦質譜檢測儀)是檢測極微小洩漏時最精確的工具。
為了準確確認是否存在真空洩漏,系統必須先達到穩定的真空度。這正是Welch 真空泵 發揮關鍵作用之處 :它們能創造出進行可靠洩漏檢測所需的受控低壓環境。一旦泵建立起正確的真空度,無論系統採用何種洩漏檢測方法——無論是基本的壓力上升測試,還是外部氦氣檢測——都能有效運作並提供有意義的結果。
洩漏檢測過程中的精確度與預期
任何洩漏檢測的準確性,取決於 系統能否有效維持所建立的真空狀態 。一台運作正常的 Welch 泵可確保:
- 快速且 穩定 的抽空過程
- A 穩定的基底壓力
- 可重複的測試條件
這使得判斷壓力變化是由於實際洩漏所致,還是由其他因素(例如:污染、氣體逸出或抽真空不足)所引起,變得更加容易。












