Mehrbereichs- und Hochvakuummeter: Messbereich 2000 bis 6 x 10^-10 mbar

In diesem Bereich werden Piezo, CAP, Micro Pirani™, Kombi-, Heiß- und Kaltkathodensensoren eingesetzt, welche nach verschiedenen Messprinzipien arbeiten.

Die Messprinzipien der Vakuummeter für den Hochvakuumbereich sind vorwiegend gasartabhängig.